1、洁净室清洁维护时，建议使用专门的微粒空气过滤吸尘器，而且要定期清洗。这样洁净室干净了，才能使净工作台发挥大的洁净功效。吸尘器分为潮湿/干燥型和干燥型两种，非常适合用来清扫泄漏出来的污染物。危险的泄漏污染物必须由训练有素的安全人员来处理。墙壁和天花板可以用吸尘器弄干。
2、使用不含钠、钾、氨、铁、铜、镍的水溶液，定期用湿的拖把或抹布清扫洁净室。有时候，可能需要用到洗涤剂和消毒剂，然后再用符合洁净室要求的水漂洗，例如蒸馏水或者去离子水。如果需要使用润滑油，那么好先问问洁净室的管理人员，哪些润滑油可以使用。通常建议使用低释气的润滑油，在加完润滑油后，要把所有表面残余的润滑油擦掉，避免在油上积累微粒。
3、门、门框和门槛需要定期清洁。先擦门的上面，然后再擦门的两边和边沿。好要用预先浸湿的擦拭布擦门。桌子、手推车和其他家具也需要定期清洁。家具要用长的交迭的刷子慢慢擦拭。在擦桌子或者工作台时，要由后向前擦。千万不能快速或者用力擦拭，这样会引起洁净室内空气的扰动。而且，不要忘记擦手推车和桌子的下面。
4、需要建立*套室内部清洁程序或者请外面的人员来做定期清洁。清洁的频率可以是*天*次也可以是*周*次，这要取决于实际要求。必须从洁净室脏的*边开始清洗，先擦天花板，然后再沿着墙壁*直擦到地板。每次只能清洗*小部分而且要频繁地更换溶液和水。此外，可能还要进行额外的漂洗，特别是在需要使用洗涤剂的情况下。不建议用力或者来回擦洗。清洗洁净室应尽可能用慢的、预先设计好的直上直下的方法反复擦洗。
5、梯子和踏脚凳是洁净室中常用的重要工具，符合洁净室要求的这类产品是可以在市场上买到的。不要把木制的或者生锈的梯子或者凳子拿到正常运作的洁净室里。要坚持安全操作，不要站在桌子上、椅子上或者推车上。
6、关于清洗用的水桶，*选的产品是使用不锈钢或者塑料构件设备。必须把水桶、拖把和其他清洁工具在洁净室或者更衣室的区域内，好是在这个区域内的清洁柜。每次清洁完毕，不能把洁净室区域里的清洁工具拿到外面去，这有可能会造成交叉感染。
