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无尘车间控制温湿度的必要性

时间:2021-07-30 点击:1865次

  无尘车间控制温湿度的必要性
 
  无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,先应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
 
  对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
 
  1、洁净度高的空间的压力要高于相邻的洁净度低的空间的压力。
 
  2、相通洁净室之间的门要开向洁净度高的房间。
 
  3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
 
  压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
 
  对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
 
  1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
 
  2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。

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