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电子厂洁净室内的过滤器维护与更换须知 上海

时间:2021-07-30 点击:1425次

电子厂洁净室内的过滤器维护与更换须知


 在微电子工业,精密仪器,LED,液晶等等那些从事精密的生产和科学实验活动,出于生产的需要得达到一定无尘生产环境,而专门建设无尘厂房、无尘车间或者无尘室的需要而产生的一门技术,它就是洁净技术。是为了适应实验与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一 门新兴技术。

在洁净技术中,过滤器是其重要组成部分!

1).各类空气过滤器、空气过滤器在安装前,不允许用手撕毁或打开包装袋或包装膜;应严格按照过滤器包装箱上标注的方向标准存放空气过滤器;在空气过滤器的搬运过程中,应轻拿、轻放,避免剧烈的振动和碰撞。

  2).对于过滤器,安装方向必须正确:用波纹板组合过滤器在竖向安装时,波纹板必须垂直于地面;过滤器在竖向与框架之间的连接,严禁渗漏、变形、破损和漏胶等,安装后必须保证内壁清洁,无浮尘、油污、锈蚀及杂物等。。

  3).检验方法:观察或白绸布擦拭检查。

  4).过滤器安装前,必须对洁净室进行清扫、擦净,净化空调系统内部如有积尘,应再次清扫、擦净,达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装过滤器,则技术层或吊顶内也应进行清扫、擦净。

  5).过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。在运输过程中,应轻拿轻放,防止剧烈振动和碰撞,不可以强制装卸。

  6.)过滤器安装前,必须在安装现场拆开包装进行外观检查,内容包括:滤纸、密封胶和框架有无损坏;边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);有无产品,技术性能是否符合设计要求。然后按照国家标准《洁净室施工及验收规范》〔JGJ71-90〕的规定的方法进行检查,合格的应立即安装。

  7).洁净度等于和高于100级洁净室用的过滤器,安装前应按《洁净室施工及验收规范》〔JGJ71-90〕的规定的方法检漏,并符合规定的要求。

  8).安装过滤器时,外框上箭头应和气流方向一致;当其垂直安装时,滤纸折痕方向应垂直于地面。

  9).安装粗效平板式或折叠式过滤器,应使镀锌网面在出风背面方向。安装袋式过滤器,则应使滤袋长度方向垂直于地面,不可使滤袋方向平行于地面安装;

  10).在正常使用条件下,平板、折叠式粗效或中效过滤器,一般1—3月更换一次,要求不严的区域,可将滤料更换下来后可以用含有清洁剂的清水浸泡、冲洗,然后凉干再换上;一般冲洗1-2次后,必须更换新的过滤器,以保证过滤效率。

  11).对于袋式粗效或中效过滤器,在正常使用条件下(平均每天8小时,连续运转),一般使用7—9周即应更换新的。

  12).对于亚过滤器,在正常使用条件下(平均每天8小时,连续运转),一般使用5--6个月,也应加以更换。

  13).对于以上的过滤器,如果过滤器前后有压差表或压差传感器,则对粗效过滤器,当压差值大于250Pa时,必须加以更换;对中效过滤器,则压差大于330Pa时,必须加以更换;对于亚过滤器,则当压差值大于400Pa时,必须加以更换,且原过滤器不可再利用;

  14).对于过滤器,当过滤器的阻力值大于450Pa时;或当出风面气流速度降到zui低限度,即使更换粗效、中效过滤器后,气流速度仍不能增大;或当过滤器表面出现无法修补的渗漏情况,均须更换新的过滤器;如没有上述条件,一般可根据使用环境条件情况,1—2年更换一次。

  15).为了充分发挥过滤器的作用,在选用和使用过程中,过滤器的迎面风速,粗效、中效过滤器不应大于2.5m/s,亚过滤器和过滤器不应大于1.5m/s,这样不仅有利于保证过滤器的效率,也能延长过滤器使用寿命,节约成本.

  16).在设备运行时,一般不要更换过滤器;如因过滤器已到更换期限而无法停机更换,则只允许在不停风机情况更换粗、中效过滤器;亚过滤器和过滤器必须停止送风后方可更换。

  17).过滤器与连接框架之间的密封垫,必须严密、无泄露,以保证过滤效果。

  18).对于需用于高湿度、高温度环境中的过滤器,必须选取耐高温、耐高湿度的滤纸与分隔板、框体材料,以满足生产的要求。

  19.)生物洁净室和医药洁净室,必须选用金属框体的过滤器,且其表面要不易生锈,不允许使用木框板的过滤器,以防产生细菌,影响产品的合格。

  综上所述,严格执行过滤器保养维护制度,应用合理的维护办法,才能使过滤器的使用寿命及效果得到保障,为企业节约开支及带来好的经济效益

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